レー ザ 知 識 用 語 辞 典 N o . 4
パ ルスエネルギー パルスレーザ発振器の1 パルスあたりのエネルギー量のこ 単位J ジュール)
と。 ( 。
(pulse energy )
パ ルス波 一 定の周波数でレーザ光を発振するこ 連続波の反対語。
と。
(pulsed oscillation )
パ ルス幅 パルスレーザ発振器の1 パルスあたりの照射時間のこと。
(pulse width )
パ ルス発振
レーザ光をフラ シュのよ に光らせる発振。
ッ う パルス発振は、発振周波数を変えることによ レーザ出力を制御したり、
り 1パルスあたりのエネルギーを強くする
ことができます。
レーザの出力を表す値としては、平均出力、
ピーク出力、パルスエネルギー、
があります。単位は、 (ワ ト) (ジュール)
W ッ とJ です。パルスレー
ザは、
ピーク出力値が連続発振レーザの出力値に比べて高いが、平均出力はパルス幅とピーク出力の積、
それに発振周波数分を加えた数値になるため低
くりな ます。平均出力が数Wでもピークエネルギーが数十kWあるパルスレーザでは金属にも印字 加工ができるエネルギーを有しています。
・
・ピークエネルギー
・パルスレーザの平均出力
エネルギー / 1パルス… A パルス数 / 秒… B
ピークエネルギー
出 出
力 力
エ パルスレーザのエネルギーは、 エ
ネ ネ
ル 面積で表されます。 ル
ギ ギ
単位はJ=ジュール
ー ー
︵ ︵
W W
発光幅
︶ ︶ パルスレーザの
= A × B
平均出力
時間
時間
レー ザ 知 識 用 語 辞 典 N o . 4
パ ルスエネルギー パルスレーザ発振器の1 パルスあたりのエネルギー量のこ 単位J ジュール)
と。 ( 。
(pulse energy )
パ ルス波 一 定の周波数でレーザ光を発振するこ 連続波の反対語。
と。
(pulsed oscillation )
パ ルス幅 パルスレーザ発振器の1 パルスあたりの照射時間のこと。
(pulse width )
パ ルス発振
レーザ光をフラ シュのよ に光らせる発振。
ッ う パルス発振は、発振周波数を変えることによ レーザ出力を制御したり、
り 1パルスあたりのエネルギーを強くする
ことができます。
レーザの出力を表す値としては、平均出力、
ピーク出力、パルスエネルギー、
があります。単位は、 (ワ ト) (ジュール)
W ッ とJ です。パルスレー
ザは、
ピーク出力値が連続発振レーザの出力値に比べて高いが、平均出力はパルス幅とピーク出力の積、
それに発振周波数分を加えた数値になるため低
くりな ます。平均出力が数Wでもピークエネルギーが数十kWあるパルスレーザでは金属にも印字 加工ができるエネルギーを有しています。
・
・ピークエネルギー
・パルスレーザの平均出力
エネルギー / 1パルス… A パルス数 / 秒… B
ピークエネルギー
出 出
力 力
エ パルスレーザのエネルギーは、 エ
ネ ネ
ル 面積で表されます。 ル
ギ ギ
単位はJ=ジュール
ー ー
︵ ︵
W W
発光幅
︶ ︶ パルスレーザの
= A × B
平均出力
時間
時間
検出内容
-7-
位置計測(2次元計測・1次元計測)
検出概要図 用途概要
パターンサーチでシールのみを検出し、有無
●シールの貼付有無、傾き検査 や傾きを検査します。また、貼付位置や異品
種なども同時に検出することができます。
◆ 計測精度の目安は?
・1画素あたりの分解能を目安とします
CCD は格子状の画素で構成されていま
すので、 画素あたりの変化量を求めるこ
とで大まかな精度の目安となります。
従来方法 実際にはサブピクセル処理などの高精度化技術や使
用しているレンズや照明の誤差を考慮する必要
光電 SW を使っていましたが、傾きや異品種までは検出でき
があります。
ませんでした。
◆ 計測データ出力は?
◆ 計測サンプリング時間は?
・秒 100 回程度から可能(計測条件等による)
・外部機器に様々な方法で出力できます
計測した結果を外部機器へ出力することで 計測一回あたりにかかる時間は、 時 その
データの記録や、数値制御などができるよ 実行している計測方法や設定内容によ
うになります。 り変化します。
関連用途 メモ
・ ボトルキャップの浮き検査
・ 注射針先端位置検査
・
7
用途編
検出内容
-7-
位置計測(2次元計測・1次元計測)
検出概要図 用途概要
搬送中のウェハの姿勢を確認します。ビュー
●搬送中のウェハの姿勢確認 ポート越しでも確実に姿勢をチェックし、ウ
ェハ破損による歩留まり低下を防ぎます。
◆ 計測精度の目安は?
・1画素あたりの分解能を目安とします
CCD は格子状の画素で構成されていま
すので、 画素あたりの変化量を求めるこ
とで大まかな精度の目安となります。
従来方法 実際にはサブピクセル処理などの高精度化技術や使
用しているレンズや照明の誤差を考慮する必要
モニタ画面を見ながら人がマニュアルで確認ていました。 があります。メガピクセルタイプでより高精度
な計測が可能となります。
◆ 計測データ出力は?
◆ 計測サンプリング時間は?
・秒 100 回程度から可能(計測条件等による)
・外部機器に様々な方法で出力できます
計測した結果を外部機器へ出力することで 計測一回あたりにかかる時間は、 時 その
データの記録や、数値制御などができるよ 実行している計測方法や設定内容によ
うになります。 り変化します。
関連用途 メモ
・ 液晶貼り合わせ工程でのアライメント
・ ウェハのオリフラの位置決め
・ ウェハ搬送アームの位置精度確認
7
用途編
NETWORK/REMOTE CONTROL UNIT
ネットワーク/リモートユニッ ラインナップ
ト
CC-Linkマス
・ タ ローカルユニット
KV-CL20
※ ※
ハード 入力 896点 入力128ワード
伝送速度 幹線長 ノード数
10Mbit/s 1200 m 64 台 出力 896点 出力128ワード
NEW
用 途
リモートI/O PLCリンク
モード
ローカル局
マスタ局
ソフト Unit Unit オート
KV-CL20
コンフィグレーション
Editor Monitor
設定ツール
※ローカル局1台あたりの最大リンク点数
DeviceNetユニット
KV-DN20
※
ハード 入力128ワード
伝送速度 幹線長 ノード数
500 kbit/s 500 m 64 台 出力128ワード
NEW
用 途
PLCリンク
リモートI/O
モード マスタ&
マスタモード スレーブモード
スレーブモード
ソフト Unit Unit オート
KV-DN20
コンフィグレーション
Editor Monitor
設定ツール
※スレーブ1台あたりの最大リンク点数
KL-LINKユニット
KL-N20V
KL-LINK ハード 伝送速度 幹線長 ノード数 入出力
5 Mbit/s 1200 m 129 台 128 ワード
用 途
リモートI/O PLCリンク
モード リモートI/O PLCリンク
モード モード
ソフト Unit Unit
KL接続
Editor Monitor
設定ツール
34
NETWORK/REMOTE CONTROL UNIT
ネットワーク/リモートユニッ ラインナップ
ト
CC-Linkマス
・ タ ローカルユニット
KV-CL20
※ ※
ハード 入力 896点 入力128ワード
伝送速度 幹線長 ノード数
10Mbit/s 1200 m 64 台 出力 896点 出力128ワード
NEW
用 途
リモートI/O PLCリンク
モード
ローカル局
マスタ局
ソフト Unit Unit オート
KV-CL20
コンフィグレーション
Editor Monitor
設定ツール
※ローカル局1台あたりの最大リンク点数
DeviceNetユニット
KV-DN20
※
ハード 入力128ワード
伝送速度 幹線長 ノード数
500 kbit/s 500 m 64 台 出力128ワード
NEW
用 途
PLCリンク
リモートI/O
モード マスタ&
マスタモード スレーブモード
スレーブモード
ソフト Unit Unit オート
KV-DN20
コンフィグレーション
Editor Monitor
設定ツール
※スレーブ1台あたりの最大リンク点数
KL-LINKユニット
KL-N20V
KL-LINK ハード 伝送速度 幹線長 ノード数 入出力
5 Mbit/s 1200 m 129 台 128 ワード
用 途
リモートI/O PLCリンク
モード リモートI/O PLCリンク
モード モード
ソフト Unit Unit
KL接続
Editor Monitor
設定ツール
34
パルスレーザ発振器の1 パルスあたりのエネルギー量のこと。
パ ルスエネルギー
単位J ジュール)
( 。
( pulse energy )
一定の周波数でレーザ光を発振するこ 連続波の反対語。
と。
パルス波
( pulsed oscillation )
パルスレーザ発振器の1パルスあたりの照射時間のこと。
パ ルス幅
( pulse width )
パルス発振 レーザ光をフラ シュのよ に光らせる発振。
ッ う パルス発振は、発振周波数を
変えることによ レーザ出力を制御したり、
り 1パルスあたりのエネルギーを強く
することができます。レーザの出力を表す値としては、平均出力、
ピーク出力、
パルスエネルギー、
があります。単位は、 (ワ ト) (ジュール)
W ッ とJ です。パルス
レーザは、
ピーク出力値が連続発振レーザの出力値に比べて高いが、平均
出力はパルス幅とピーク出力の積、
それに発振周波数分を加えた数値にな
るため低く ます。
なり 平均出力が数Wでもピークエネルギーが数十kWある
パルスレーザでは金属にも印字 加工ができ
・ るエネルギーを有しています。
・ピークエネルギー
・パルスレーザの平均出力
エネルギー / 1パルス… A パルス数 / 秒… B
ピークエネルギー
出 出
力 力
エ パルスレーザのエネルギーは、 エ
ネ ネ
面積で表されます。 ル
ル ギ
ギ 単位はJ=ジュール ー
ー ︵
︵ W
発光幅
W ︶ パルスレーザの
︶ 平均出力 = A × B
時間
時間
時間あたりのエネルギー量、単位はW ッ 。
(ワ ト)
パ ワー
( power )
レーザ光の出力を測定する計測器。
パワーメータ
レーザパワーの減衰状況の管理に使用されます。
( power meter )
光を単一方向にだけ通す性質を持ったデバイスのこと。
光アイソレータ
レーザの戻り光を遮断するために使用される。
( optical isolator )
レーザ発振器から照射されたレーザ光が広がる角度のこと。
拡がり角
( divergence )
レーザ光の直径のこ を意味しますが、
と
ビ ーム径
通常は、ビーム中心のピーク値の半値の値を指します。
( beem diameter )
レーザ光の強度分布のこと。
ビームプロファイラー
( beam profiler )
08 レ ーザ用語辞典
パルスレーザ発振器の1 パルスあたりのエネルギー量のこと。
パ ルスエネルギー
単位J ジュール)
( 。
( pulse energy )
一定の周波数でレーザ光を発振するこ 連続波の反対語。
と。
パルス波
( pulsed oscillation )
パルスレーザ発振器の1パルスあたりの照射時間のこと。
パ ルス幅
( pulse width )
パルス発振 レーザ光をフラ シュのよ に光らせる発振。
ッ う パルス発振は、発振周波数を
変えることによ レーザ出力を制御したり、
り 1パルスあたりのエネルギーを強く
することができます。レーザの出力を表す値としては、平均出力、
ピーク出力、
パルスエネルギー、
があります。単位は、 (ワ ト) (ジュール)
W ッ とJ です。パルス
レーザは、
ピーク出力値が連続発振レーザの出力値に比べて高いが、平均
出力はパルス幅とピーク出力の積、
それに発振周波数分を加えた数値にな
るため低く ます。
なり 平均出力が数Wでもピークエネルギーが数十kWある
パルスレーザでは金属にも印字 加工ができ
・ るエネルギーを有しています。
・ピークエネルギー
・パルスレーザの平均出力
エネルギー / 1パルス… A パルス数 / 秒… B
ピークエネルギー
出 出
力 力
エ パルスレーザのエネルギーは、 エ
ネ ネ
面積で表されます。 ル
ル ギ
ギ 単位はJ=ジュール ー
ー ︵
︵ W
発光幅
W ︶ パルスレーザの
︶ 平均出力 = A × B
時間
時間
時間あたりのエネルギー量、単位はW ッ 。
(ワ ト)
パ ワー
( power )
レーザ光の出力を測定する計測器。
パワーメータ
レーザパワーの減衰状況の管理に使用されます。
( power meter )
光を単一方向にだけ通す性質を持ったデバイスのこと。
光アイソレータ
レーザの戻り光を遮断するために使用される。
( optical isolator )
レーザ発振器から照射されたレーザ光が広がる角度のこと。
拡がり角
( divergence )
レーザ光の直径のこ を意味しますが、
と
ビ ーム径
通常は、ビーム中心のピーク値の半値の値を指します。
( beem diameter )
レーザ光の強度分布のこと。
ビームプロファイラー
( beam profiler )
08 レ ーザ用語辞典
パルスレーザ発振器の1 パルスあたりのエネルギー量のこと。
パ ルスエネルギー
単位J ジュール)
( 。
( pulse energy )
一定の周波数でレーザ光を発振するこ 連続波の反対語。
と。
パルス波
( pulsed oscillation )
パルスレーザ発振器の1パルスあたりの照射時間のこと。
パ ルス幅
( pulse width )
パルス発振 レーザ光をフラ シュのよ に光らせる発振。
ッ う パルス発振は、発振周波数を
変えることによ レーザ出力を制御したり、
り 1パルスあたりのエネルギーを強く
することができます。レーザの出力を表す値としては、平均出力、
ピーク出力、
パルスエネルギー、
があります。単位は、 (ワ ト) (ジュール)
W ッ とJ です。パルス
レーザは、
ピーク出力値が連続発振レーザの出力値に比べて高いが、平均
出力はパルス幅とピーク出力の積、
それに発振周波数分を加えた数値にな
るため低く ます。
なり 平均出力が数Wでもピークエネルギーが数十kWある
パルスレーザでは金属にも印字 加工ができ
・ るエネルギーを有しています。
・ピークエネルギー
・パルスレーザの平均出力
エネルギー / 1パルス… A パルス数 / 秒… B
ピークエネルギー
出 出
力 力
エ パルスレーザのエネルギーは、 エ
ネ ネ
面積で表されます。 ル
ル ギ
ギ 単位はJ=ジュール ー
ー ︵
︵ W
発光幅
W ︶ パルスレーザの
︶ 平均出力 = A × B
時間
時間
時間あたりのエネルギー量、単位はW ッ 。
(ワ ト)
パ ワー
( power )
レーザ光の出力を測定する計測器。
パワーメータ
レーザパワーの減衰状況の管理に使用されます。
( power meter )
光を単一方向にだけ通す性質を持ったデバイスのこと。
光アイソレータ
レーザの戻り光を遮断するために使用される。
( optical isolator )
レーザ発振器から照射されたレーザ光が広がる角度のこと。
拡がり角
( divergence )
レーザ光の直径のこ を意味しますが、
と
ビ ーム径
通常は、ビーム中心のピーク値の半値の値を指します。
( beem diameter )
レーザ光の強度分布のこと。
ビームプロファイラー
( beam profiler )
08 レ ーザ用語辞典
1
日本語 英 語 中国語
ABS樹脂 ABS resin
AFM Atomic force microscope
A●︱ X線 X-ray
あ● アーク溶接 Arc welding
アース Ground
亜鉛ダイキャスト Zinc die-cast
空き容量 Free space
アクセス権 Access authority
アクリル Acrylic
アスペクト比 Aspect ratio
あそび Clearance
値 Value
アダプタ Adapter
あたり Contact
圧延 Rolling
圧痕 Indentation
圧縮 Compress
圧縮成形 Compression molding
圧縮率 Compression ratio
圧接 Pressure welding
アップロード Upload
後入先出法 Last in, first out method/Lifo method
後処理 Post-processing
アドレス Address
厚み Thickness
圧力ポート Pressure port
穴あけ Holing
アナログ Analog
アナログ信号 Analog signal
アニーリング Annealing