他にもこのような観察用途があります
コーティング面
（明視野） 300倍 金属断面
（明視野） 300倍
コーティング面
（偏光） 300倍 金属断面
（微分干渉） 300倍
ACF表面
（明視野） 500倍 磁気テープ
（明視野） 200倍
ACF表面
（微分干渉） 500倍 磁気テープ
（微分干渉） 200倍
実際に御社の対象物で試してみたいテーマ・
案件等がございましたらお気軽にご連絡ください。
15
コ ントラスト の 弱 い 対 象 物 を 観 る
光 学 顕 微 鏡が苦 手としていたコントラストの 弱い、淡い色 の 対 象 物が、
H D R 機 能により鮮 明に観 察することが可 能になります。
インクジェ ト用紙
ッ （×300）
HDR
［16bit］
従来［8bit］
表 面がコーティングされたフォト用インクジェ トペーパー表面です。
ッ 従来ではぼんやりと表面状態が観える程度ですが、HDR機能を使用すること
でコーティングのヒビ割れ具合まで観察できます。
段 差ゲージ（×2000）
HDR
［16bit］
従来［8bit］
白くぼやっと見えていた段差ゲージもＨ Ｒ機能を使えば、
Ｄ 細かな模様をはっきりと観察することが可能です。
3
樹脂の破断面観察（×200）
樹脂破断面の疲労箇所に発生するビー
チマークは従来の光学式顕微鏡では観
察困難で、そのためSEMを使用するケー
スが通常でした。
輝度分解能を向上させる事によって細か
なビーチマークまで観察でき、SEMを使
用する必要がなく、
作業効率の大幅な向
上につながります。
従来［8bit］ HDR
［16bit］
コーティング膜境界面の観察（×1000）
薄膜のコーティング境界部分の断定も
輝度分解能の向上により境界線がはっ
きりわかる画像を入手できます。
報告書に画像を添付する場合等、わか
りやすい写真を入手する事が可能とな
ります。
従来［8bit］ HDR
［16bit］
5
コ ントラスト の 弱 い 対 象 物 を 観 る
光 学 顕 微 鏡が苦 手としていたコントラストの 弱い、淡い色 の 対 象 物が、
H D R 機 能により鮮 明に観 察することが可 能になります。
インクジェ ト用紙
ッ （×300）
HDR
［16bit］
従来［8bit］
表 面がコーティングされたフォト用インクジェ トペーパー表面です。
ッ 従来ではぼんやりと表面状態が観える程度ですが、HDR機能を使用すること
でコーティングのヒビ割れ具合まで観察できます。
段 差ゲージ（×2000）
HDR
［16bit］
従来［8bit］
白くぼやっと見えていた段差ゲージもＨ Ｒ機能を使えば、
Ｄ 細かな模様をはっきりと観察することが可能です。
3
題目 ： コーティング材の段差測定
測定概要
◆型式
センサヘッド ： ＬＪ−Ｇ０３０/ＬＪ−Ｇ０１５
コントローラ ： ＬＪ−Ｇ５０００
モニタ ： ＣＡ−ＭＰ８１
◆使用機器
ｾﾝｻﾍｯﾄﾞ ｺﾝﾄﾛｰﾗ ﾓﾆﾀ
◆ 測 定 イメ ージ
◆測定概要
・ 測定内容
コーティング材の基準面からの高さを測
1.000 定します。
・ 測 定
・ 出 力 の ポ イン ト
◆測定ｴﾘｱを広く設定することで、より安定
した測定を行うことができます。
高さ-ﾎﾟｲﾝﾄ② 高さ-ﾎﾟｲﾝﾄ①
◆高さ方向の測定範囲を制限することで、
より早いタクトで測定することができます。
◆測定箇所
段差の測定
16 .4
段差ﾎﾟｲﾝﾄ①-段差ﾎﾟｲﾝﾄ②
27 .4
◆導入のﾒﾘｯ ﾄ
1 ． 設備コス ト 改善
従来はスポットタイプのセンサで測定していたので、センサかワークを移動させる必要がありました。2次元
タイプのLJ-Gを使用すればセンサ・ワークを動かさず、段差の測定を行うことができます。
2 ． 歩留まり改善
シート部とコーティング材の色や材質による制約を受けません。金属面・樹脂面、白色から黒色まであらゆ
るワークで安定した測定を行うことができます。
3 ． タ クト アップ
最速3.8msでサンプリングを行うことができるので、高速にインラインで測定することができます。
02 レ ーザ知 識 用語 辞 典 N o . 1
レーザ光量を減衰させるための光学部品またはシャッタ。
アッテネーター
（ attenuator ）
通過するレーザ光の中心部を取り出すために制限を設ける絞りまたは開口のこと。
アパーチャー
（ aperture ）
電圧を加えることにより光の屈折率を変化させる電気光学方式のQスイッチ。
E/O Q スイッチ
（ E/O Q switch ）
水冷方式のレーザマーカで使用する冷却水（純水）が劣化するにつれ発生する不純物のイオンを
イオン交換
除去してクリーン度を保つこと。
ガラスなどの透明体に透過するレーザー光を使用し、透明体内部にマーキングや加工を行なうこと。
インナーマーキング
（ inner marking ）
ARは、Anti Reflectionの略で反射防止の意味。レンズをARコーティングし、表面で起こる反射
AR コーティング
を防ぐことにより、 レーザ光の透過率が向上します。
（ AR coating ）
超音波を加えることにより光の屈折率を変化させる音響光学方式のQスイッチ。
A/O Q スイッチ
（ A/O Q switch ）
18
日本語 英 語 中国語
工程図 Process diagram
光電素子 Photoelectric element
こ
︱
硬度 Hardness
こ
購入検査 Receiving inspection
高熱処理 High temprature heat treatment
購買仕様書 Purchase specification
購買マニュアル Purchase manual
降伏点 Yield point
高分解能タイプ High-resolution types
高分子化合物 Macromolecular compound
小売 Retails
効率 Efficiency
交流 Alternating current
光量過多 Excess light intensity
光量不足 Insufficient light intensity
光量分布 Light quantity distribution
コーナ半径 Corner radius
コークス Cokes
コーティング Coating
コード Cable
固化 Solidification
小型 Compact
互換性 Compatibility
黒色物体 Black targets
誤組み付け Improper assembly
誤差 Margin of error
故障 Failure
故障率 Failure rate
コスト Cost
こて Trowel
改善の仕組み
ＰＦＡの一般的な耐薬品特性
ＩＣタグをコーティングしているＰＦＡ樹脂は、一般的に下記のような薬品を
使用する工程でも問題ありません。
・アセトン ・メチルエチルケトン ・ベンゼン
・メチルアルコール ・トルエン
・塩酸
・硫酸（98％）
・硝酸 ・水酸化ナトリウム
洗浄のみならず、様々な薬品を使用する工程でも、
ＰＦＡの耐薬品性を生かして展開が可能です！
低 加速電圧 法による非蒸着 S E M 観察
低真空観察法の原理と特徴
試 料の導電処理
チャージアップを防ぐ方法のひとつに導電化処理が 低 真空観察では、文字通り試 料室に極薄く空 気
あります。一般的には、 料表面に金や白金などの
試 を導入します。通常の高真空観察における試 料室
金属を薄くコーティングして試料に導電性を持たせ の気 圧が10 - 3 Pa程度であるのに対し、低真空観察
ます。 では、試料室の気圧を数 Paから数百Paにします。
試料に導電性を持たせて試料台、試料台ボルダ、 空 気が導入された試 料室では、一次電子が気体
SEM筐体と電気的につなげれば、 料に照射され
試 分 子と衝突することで、気体分 子から二 次 電子が
た一次電子は、導電性のコーティングを通ってアー 放出され、プラスイオンとなります。
スに流れるため試料に溜まりません。 図3）
（ このプラスイオンが試料に帯電したマイナス電子と
結合することで試料の帯電を取り除きます。 図4）
（
1次電子
気体の
分子
2次電子
プラス
イオン
試料
試料台
プラス 気体の
試料台ホルダ イオン 分子
図3 試料の導電化
： 気体の
プラス
分子
導電性コーティングにより電子をアースに流す イオン
プラス プラス
イオン イオン
中和 中和
導電処理を施すとチャージアップを防ぐことができ
ます。ただし、コーティングをすることで試料の二次 試料に帯電した電子
利用が制限される、コーティングに多少の手間がか
図4 低真空観察の帯電防止
：
かる、などの理由で前処理なしで非導電体をSEM観
察したいという要求があります。そのような要求に応
える形で開発されたのが、非蒸着観察法です。
一方試 料室に気体がある状 態では、 料から発
試
生した二次電子はエネルギーが弱いため検出器ま
で 到達 することが できません 。そのため 低 真空観
察では 、一次 電子に応じた運 動エネルギーを持 つ
反 射 電子を使 用し、高い運 動エネルギーを持たせ
るため高加速電圧で一次電子を照射します。
2つの非蒸着観察法 その結果、非蒸着で観察できるものの、試料表
面の 微 細 構造 が 観 察できない点や 、 料にダメー
試
SEMの代表的な非蒸着観察法には、 低真空観
「 ジを与えるというデメリットがあります。また、一次
察法」 「低加速電圧観察法」
と があります。 電子が 気体と衝突したときに生じる散 乱で一次 電
続いて 、 つの非 蒸 着観 察法の原 理と特 徴を解
2 子のスポット径も大きくなるため高倍率観察には不
説します。 向きとされています。
基本原理 試料室を低真空環境にして観察する
一次電子と気体分子の衝突により生じる
帯電防止法
プラスイオンで帯電を除去する。
加速電圧 15∼20kV程度の高加速電圧。
検出信号 反射電子
表1 低真空観察法の特徴
：
ー6ー
低 加速電圧 法による非蒸着 S E M 観察
低真空観察法の原理と特徴
試 料の導電処理
チャージアップを防ぐ方法のひとつに導電化処理が 低 真空観察では、文字通り試 料室に極薄く空 気
あります。一般的には、 料表面に金や白金などの
試 を導入します。通常の高真空観察における試 料室
金属を薄くコーティングして試料に導電性を持たせ の気 圧が10 - 3 Pa程度であるのに対し、低真空観察
ます。 では、試料室の気圧を数 Paから数百Paにします。
試料に導電性を持たせて試料台、試料台ボルダ、 空 気が導入された試 料室では、一次電子が気体
SEM筐体と電気的につなげれば、 料に照射され
試 分 子と衝突することで、気体分 子から二 次 電子が
た一次電子は、導電性のコーティングを通ってアー 放出され、プラスイオンとなります。
スに流れるため試料に溜まりません。 図3）
（ このプラスイオンが試料に帯電したマイナス電子と
結合することで試料の帯電を取り除きます。 図4）
（
1次電子
気体の
分子
2次電子
プラス
イオン
試料
試料台
プラス 気体の
試料台ホルダ イオン 分子
図3 試料の導電化
： 気体の
プラス
分子
導電性コーティングにより電子をアースに流す イオン
プラス プラス
イオン イオン
中和 中和
導電処理を施すとチャージアップを防ぐことができ
ます。ただし、コーティングをすることで試料の二次 試料に帯電した電子
利用が制限される、コーティングに多少の手間がか
図4 低真空観察の帯電防止
：
かる、などの理由で前処理なしで非導電体をSEM観
察したいという要求があります。そのような要求に応
える形で開発されたのが、非蒸着観察法です。
一方試 料室に気体がある状 態では、 料から発
試
生した二次電子はエネルギーが弱いため検出器ま
で 到達 することが できません 。そのため 低 真空観
察では 、一次 電子に応じた運 動エネルギーを持 つ
反 射 電子を使 用し、高い運 動エネルギーを持たせ
るため高加速電圧で一次電子を照射します。
2つの非蒸着観察法 その結果、非蒸着で観察できるものの、試料表
面の 微 細 構造 が 観 察できない点や 、 料にダメー
試
SEMの代表的な非蒸着観察法には、 低真空観
「 ジを与えるというデメリットがあります。また、一次
察法」 「低加速電圧観察法」
と があります。 電子が 気体と衝突したときに生じる散 乱で一次 電
続いて 、 つの非 蒸 着観 察法の原 理と特 徴を解
2 子のスポット径も大きくなるため高倍率観察には不
説します。 向きとされています。
基本原理 試料室を低真空環境にして観察する
一次電子と気体分子の衝突により生じる
帯電防止法
プラスイオンで帯電を除去する。
加速電圧 15∼20kV程度の高加速電圧。
検出信号 反射電子
表1 低真空観察法の特徴
：
ー6ー
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