ローダー・アンローダーでの除電 No.4
ローダー・アンローダーでの除電
除電の概要
ガラス基板搬送時の接触・はく離によって静電気が発生
し、静電破壊が起こります。除電器を設置することで
ガラス基板を静電破壊から守ります。
従来までの問題点と対策方法
従来の問題点
ガラス基板が大きく、全範囲を除電するために複数台の除電器が必要でした。
対策方法
SJ-H シリーズのワイドアングルブースタを使用することで、広範囲を 1 台で除電できます。
キーエンスのノウハウ
ワイドアングルブースタで
秘 広いガラス基板も一発除電!
テ ク ニッ ク
従来の除電器は、 アを入れて使用すると横
エ
方 向 の広 がり が狭 くな ると いう 欠点 があ り
ました。そのためガラス基板など、広い範囲
を 1 本の除電器でカバーするのは難しく、 ど
ワイドアングルブースタ
う し ても 複数 台使 用す るし か方 法が あり ま
せんでした。
SJ-H シリーズはワイドアングルブースタの
採用によって、 倒的な横方向の広がりを実
圧
現することに成功しました。 数台必要だっ
複
た除電器を 1 台にまとめることで、 電器本 除
体 と エア 消費 量両 方の コス ト削 減を 見込 む
ことができます。
http://www.keyence.co.jp/seidenki
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0120-66-3000
技 術相談、 お問合 せ 株式会社キーエンス
63
日本語 英 語 中国語
レポート Report
連鎖反応 Chain reaction
れ︱ レンズカバー Lens cover
わ 連成圧 Compound pressure
連続 Continuous
連続生産 Continuous production
連続造型法 Continuous molding
連続鋳造 Continuous casting
ロウ付け Brazing
漏電 Leak
ローダ Loader
ロータリーエンコーダ Rotary encoder
ロードセル Load cell
ロールフィーダ Roll feeder
ローレット Knurling tool
ろ過 Filtration
録画容量 Recording capacity
ロゴマーク Logotype
六角ナット Hexagon head bolt
ロック/ロック解除 Lock/Release lock
ロックウェル硬さ Rockwell hardness
ロックナット Lock nut
ロット Lot
ロッド Lod
ロット生産 Lot production
ロボット Robot
ロボット工学 Robot engineering
ワーク Workpiece
ワークステーション Work station
歪ゲージ Strain gauge
シリアル通信をEthernet化
① デバッグ環境
PLCとパソコンとの接続をEthernetにすることで、より効率的なデバッグ環境を構築することができます。
装置を見渡せる場所からのデバッグ
長距離
制御盤の近くではなく、装置を見渡せる最適の場所から
デバッグが可能です。
また、無線LANにすればさらに自由度の高い環境構築
が可能です。
最長100mまで、延長可能。
無線LANを導入することも可能
複数のPLCとの同時接続
複数接続
最近の装置は、1台に複数のPLCを搭載していることや本体とローダ、アンローダなどにPLCが分散して配置されていること
が珍しくありません。
Ethernetで接続すれば、複数のPLCを同時に接続・モニタが可能になります。複数台接続しても、Ethernetは高速でモニタ
ができます。
複数台のPLCをデバッグするには、 ハブを使用することで、
従来 Ethernet
転送ケーブルの挿し換えが必要でした。 複数のPLCに同時に接続が可能です。
ハブ
複数人で、1台のPLCを同時にデバッグ
装置の立ち上げ時など、複数人で同時にデバッグが可能に
なります。工程や機能ごとに、担当者を分けてデバッグする
ことができます。
ラダーサポートソフト『KV STUDIO Ver.4』は、複数人による
ハブ
デバッグ機能を強化しています。
ワイ ングルブース
ドア タが90度の広角除電を実現
世界初
Wide A geB otr
n l o se
ワイド ※1
ブースター [特許出願中]
■ SJ-Hワイ ングルブース
ドア タ装着時(前面)
■ ワイ ングルブース
ドア タ装着時(側面)
ブーストエア
90°
Air Ion Air
ブーストエア
除電領域と時間
ワイドアングルブースタが9 0度の
世界初
600 450 300 150 150 300 450 600 mm
広角除電を実現
300
徹底した流体解析により空気抵抗を極限までなくしたエアロボディを新開発。 0.5sec
世界で初めてのワイ ングルブース を装着する とでブース
ドア タ こ タから流れるエア 600
1sec
へのコア ダ効果※2を利用
ン して90度の広角除電を実現しました。
900
※1 対応機種・・ J H
・S − 2sec
型式名 ワイドアングルブース SJ-HW01 ワイ
タ ドアングルブースタ用延長ユニ ト SJ-HW02
ッ 測定条件 :
1200
±1000Vか ら±100Vま での除電時間
※2 コアンダ効果とは、
流れの中に物体を置いた時にその物体に沿って流れの向きが変わる流体の性質 150mm×150mmのプレー トモニタ(20pF)使用
3sec
SJ-H060+SJ-HW01/HW02を使用、ダウンフローな し
1500 エア供給 SJ-H060 0.1MPa SJ-HW01/HW02 0.5MPa
: :
mm
■ アプリケーシ ン
ョ
スッ
ト カー除電 印刷物除電 ローダーアンローダー
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シリアル通信をEthernet化
① デバッグ環境
PLCとパソコンとの接続をEthernetにすることで、より効率的なデバッグ環境を構築することができます。
装置を見渡せる場所からのデバッグ
長距離
制御盤の近くではなく、装置を見渡せる最適の場所から
デバッグが可能です。
また、無線LANにすればさらに自由度の高い環境構築
が可能です。
最長100mまで、延長可能。
無線LANを導入することも可能
複数のPLCとの同時接続
複数接続
最近の装置は、1台に複数のPLCを搭載していることや本体とローダ、アンローダなどにPLCが分散して配置されていること
が珍しくありません。
Ethernetで接続すれば、複数のPLCを同時に接続・モニタが可能になります。複数台接続しても、Ethernetは高速でモニタ
ができます。
複数台のPLCをデバッグするには、 ハブを使用することで、
従来 Ethernet
転送ケーブルの挿し換えが必要でした。 複数のPLCに同時に接続が可能です。
ハブ
複数人で、1台のPLCを同時にデバッグ
装置の立ち上げ時など、複数人で同時にデバッグが可能に
なります。工程や機能ごとに、担当者を分けてデバッグする
ことができます。
ラダーサポートソフト『KV STUDIO Ver.4』は、複数人による
ハブ
デバッグ機能を強化しています。
シリアル通信をEthernet化
① デバッグ環境
PLCとパソコンとの接続をEthernetにすることで、より効率的なデバッグ環境を構築することができます。
装置を見渡せる場所からのデバッグ
長距離
制御盤の近くではなく、装置を見渡せる最適の場所から
デバッグが可能です。
また、無線LANにすればさらに自由度の高い環境構築
が可能です。
最長100mまで、延長可能。
無線LANを導入することも可能
複数のPLCとの同時接続
複数接続
最近の装置は、1台に複数のPLCを搭載していることや本体とローダ、アンローダなどにPLCが分散して配置されていること
が珍しくありません。
Ethernetで接続すれば、複数のPLCを同時に接続・モニタが可能になります。複数台接続しても、Ethernetは高速でモニタ
ができます。
複数台のPLCをデバッグするには、 ハブを使用することで、
従来 Ethernet
転送ケーブルの挿し換えが必要でした。 複数のPLCに同時に接続が可能です。
ハブ
複数人で、1台のPLCを同時にデバッグ
装置の立ち上げ時など、複数人で同時にデバッグが可能に
なります。工程や機能ごとに、担当者を分けてデバッグする
ことができます。
ラダーサポートソフト『KV STUDIO Ver.4』は、複数人による
ハブ
デバッグ機能を強化しています。
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応差距離 Hysteresis
横弾性係数 Modulus of transverse elasticity
お︱ 横断面 Transverse section
お 応答性 Response time
応答速度が速い High response speed
応力 Stress
応力緩和 Stress relaxation
応力集中 Stress concentration
応力-ひずみ線図 Stress-strain diagram
オートローダ Auto-loader
オーバーホール Overhaul
オーバーレンジ警告 Range-over alarm
オープン位置 Open position
オープンコレクタ Open collector
オーム Ohm
送り運動 Feed motion
送り現在値 Current value of feed
送りネジ Feed adjustment bolt
送り量 Feed per revolution
遅れ Time lag
押し出し Extrusion
押出加工 Extrusion process
押出成形 Extrusion molding
オシロスコープ Oscilloscope
お墨付き Authorized/Authorization
汚染 Pollution
オファー To offer
オプション Option
オフセット Offset
オフディレイ時間 Off-delay time
特徴
ワークに合わせたレーザー波長を選択可能 ワークの供給形態に合わせて対応可能
532nm/1064nm/10600nm Jedecトレイ、リードフレームマガジン、
ウェハーカセット、 基板ローダー等
独自の画像アライメント機能を搭載 ウェハーの搬送にはクリーンロボットを搭載
高精度位置決め、 オプションで
パレット捺印に対応します 非接触ハンドリングも
可能です。
ウェハのオリフラや各種チップ、
またはトレイに配列されたチップを検出し、
マップデータの作成や位置補正を行います。
各種アプリケーションにも対応
イントレイマーキングシステム フープタイプ対応システム
*当社は個人情報保護法に関する法令などを遵守し、お客さまの住所・部署・氏名等の個人情報は、生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
FIGNA事業部
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仙 台 Tel 022 - 224- 0911 東 京 Tel 0 3 - 5715- 3833 大 阪 Tel 0 6 - 6398 - 3911
浦 和 Tel 0 48 - 823 -1911 名古屋 Tel 0 52 - 950 - 5710 福 岡 Tel 0 92 - 452 - 8411
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C 大豆油インキ使用