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真空度 Degree of vacuum
真空ポンプ Vacuum pump
し
︱
信号 Signal
す
人工知能 Artificial intelligence
新製品 New product
診断 Diagnosis
真直度 Straighness
振動 Vibration
浸透圧力 Esmotic pressure
振動解析 Vibration analyser
振動計 Vibration meter
振動子 Vibrator
振動数 Frequency
振幅 Amplitude
進捗管理 Schedule management
シンボルサイズ Symbol size
信頼性 Reliability
水圧 Hydraulic pressure
水位 Water level
水準 Level
水準器 Level
水素ガス Hydrogen gas
水素ぜい化 Hydrogen embrittlement
垂直 Vertical
垂直応力 Normal stress
スイッチ切換 Switch-selectable
スイッチングレギュレータ Switching regulator
水平 Horizontal
水平同期信号 Signal for horizontal synchronization
水溶性切削油剤 Water-miscible cutting fluid
図解 簡単AFM入門(Vol.1)
AFMの仕組み−除振機構
除振機構について
光学顕微鏡と並んでAFMの必需品となっている機器として、除振機構(除振台)があります。除振機構を持たないAFMでは、
パッシブ型除振台が多く採用されています。
除振機構の種類
除振台はバネの方式や振動制御方式により種類が大別されます。
バネ方式 バネ方式は、コイルバネ、板バネに代表される金属バネと空気バネ、防振ゴムなどに代表される
非金属バネの2種類に大別されます。
金属バネには、固有振動数を低く設定できる、コスト面で優れている等の特長があります。また、
非金属バネには、搭載加重の増減に対して除振性能が変わらないといった特長があります。
振動制御方式 振動制御方式には、パッシブ除振方式とアクティブ除振方式に大別されます。
パッシブ除振方式は、その振動制御方式が有する除振性能でのみで振動が減衰する方式に対し
て、アクティブ制御方式はアクチュエータ等の制御系により振動を制振する機構を有した方式で、
パッシブ除振方式よりも減衰時間が早い、固有振動数を持たない等の特長があります。
AFMでも、ユニット内にパッシブ方式の除振機構
を内蔵したAFMが登場してきま した。
ゲルダンパ
VN-8000シリーズは、外乱からの振動を除去する
Base Floating Mechanism構造を採用。
衝撃吸収ゲルとコイルバネを組み合わせた金属
バネ(ゲルダンパ)によって、外乱の振動を除去し
ま す。
ナノスケールハイブリッド顕微鏡