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基板 Printed circuit board
基板実装 PC board implementation process
き︱ 期末在庫 Ending inventory
き 気密 Air tight
逆起電力 Counter -electromotive force
キャラクタ Character
キャリア Carrier
吸収 Absorption
吸着 Suction
吸着確認 Confirmation of suction
球面運動 Spheric motion
球面レンズ Spherical lens
急冷 Rapid cooling
行間 Between rows
供給 Supply
凝固 Solidification
競合メーカー Competing manufacturer
狭視界反射型 Focused-beam reflective type
共振 Resonance
共振周波数 Resonance frequency
行数 No. of lines
共通 Common
共通設定 Common settings
強度 Strength
鏡面加工 Mirror-like finishing
共用部品 Common parts
曲率半径 Radius of curvature
極性反転 Reversed polarity
許容限界寸法 Limits of size
許容誤差 Tolerance
図解 簡単ＡＦＭ入門（Vol.1）
ＡＦＭの仕組み−原理
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）とは・・・
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）とは、微小なプローブと試料表面間に働く原子
間力（引力や斥力）を半導体で出来た梁（以後、カンチレバーといいま
す）のたわみ量から検出して、微小領域の表面形状を観察、計測する顕
微鏡のことをいいます。
原子間力とは・・・
ＡＦＭの基本原理となる原子間力とは、長さ 約 6μm、先端曲率半径
20nmのプローブがついたカンチレバーを、非常に微小な力（約 0.1∼数
１0nN ）で試料表面に接触もしくは接触するくらいまで接近させたときに、
プローブ先端と試料表面との間に働く力学的相互作用（引力や斥力）の
ことを言います。
フォース・カーブ
フ ォ ー スカ ー ブ
プローブ先端と試料表面の距離と原子間力との関係を表したのが
フォース・カーブです。 力
距離
今、試料表面をカンチレバーのプローブ先端に、１→２→３→４の順に近
づけたり、 ５→６→７の順に遠ざけたりすると、カンチレバーは次のよう
に変化します。
カンチレバ ー
（1） カンチレバーと試料表面の距離Z0を
近づけます。
Z0
試料
（2） 原子間力（引力）が働き、カンチレバー
先端がたわみます。 引力
吸着直後
ナノスケールハイブリッド顕微鏡
ＡＦＭ読本
ＡＦＭの仕組み－原理
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）とは・・・
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）とは、微小なプローブと試料表面間に働く原子
間力（引力や斥力）を半導体で出来た梁（以後、カンチレバーといいま
す）のたわみ量から検出して、微小領域の表面形状を観察、計測する顕
微鏡のことをいいます。
原子間力とは・・・
ＡＦＭの基本原理となる原子間力とは、長さ 約 6μm、先端曲率半径
20nmのプローブがついたカンチレバーを、非常に微小な力（約 0.1～数
１0nN ）で試料表面に接触もしくは接触するくらいまで接近させたときに、
プローブ先端と試料表面との間に働く力学的相互作用（引力や斥力）の
ことを言います。
フォース・カーブ
フォースカーブ
プローブ先端と試料表面の距離と原子間力との関係を表したのが
フォース・カーブです。 力
距離
今、試料表面をカンチレバーのプローブ先端に、１→２→３→４の順に近
づけたり、 ５→６→７の順に遠ざけたりすると、カンチレバーは次のよう
に変化します。
カンチレバー
（1） カンチレバーと試料表面の距離Z0を
近づけます。
Z0
試料
（2） 原子間力（引力）が働き、カンチレバー
先端がたわみます。 引力
吸着直後
ナノスケールハイブリッド顕微鏡
当 該製品の高精度光学レンズの製造工程
コンピュータ シミュレーションを駆使して、
・ 単レンズから複合レンズ、
レンズ組みシステムの設計を行ないます。
それに併せて、
鏡筒やズーム機構のメカ設計を行ないます。
コンピュータによる光学設計は高度なレベルに達しており、
その設計内容を製品化していくには、研磨や加工、組み立て技術が要求されます。
光学設 計・メカ設 計 洗浄
コンピュータ シミュレーションを駆使して、
・ 単レンズから複合レンズ、 研磨工程が 完了後、研磨 剤などの汚れを取り除くために、レンズを
レンズ組みシステムの設計を行ないます。それに併せて、鏡筒やズーム 超音波洗浄器で洗浄します。
機構のメカ設計を行ないます。コンピュータによる光学設計は高度な
芯取り
レベルに達しており、その設 計内容を製品 化していくには、研磨や
加工、組み立て技術が要求されます。
研磨の最終工程です。レンズの中心を切削機に挟み込んで高速回転
しながら光軸がレンズの中心となるように外周を削り取ります。
光学ガラス材料
コーティング
研磨する前の光学ガラスの多くは円柱状のものになります。これを
輪切りにしたものを原材料にして加工をしていきます。ＲＺレンズには
レンズの 乱 反 射の防止、 の 透 過 率 向 上のためにコーティングを
光
さまざまな光学特性を持った材料を使用しており、それぞれの特長に
行ないます。クリーンルーム内に設置された真空蒸着機によって真空
よって理 想的な像を結ぶよう設 計されています。この時点での光学
蒸着を行ないます。これによってレンズは一定の波長の光だけを透過
ガラスの透明度はほとんどありません。
するようになります。
荒削り
組み立て
輪 切りのガラス 板をレンズ 状 に 成 型 する工 程 のことを い います。
クリーンルーム内で最終のズームレンズを仕上げます。これまでの工程
オスカー型研磨機 やカーブジェネレーターといった機械を用いて、
によって仕上げられた何枚ものレンズを１人の作業者が一貫して組み
大まかな曲率半径や寸法形状に研磨していきます。オスカー型研磨機
立てていきます。 倍 率から高倍 率までいずれの 倍 率に お いても
低
では、磨き皿の材料としてピッチと呼ばれるコールタールを流し込んだ
高解像度を実現するためにレンズ１枚１枚の精度はもちろんのこと、
円盤を使用します。この段階ではレンズはまだすりガラス状態です。
すべてのレンズの中心が１点でそろい、かつズーム時にも決してブレ
ないよう精密な組み立て技術が必要となります。
ペレットおよびレジンによる研磨
ペレットとはダイヤモンドの砥粒を固定した薄い円盤状の小片砥石の 最終検査
ことです。これを複数個、円盤に接着してレンズを研磨します。このあと
20項目以上の最終検査を実施し、そのすべてに合格したものだけを
さらにレジンと呼ばれる砥石による研磨を行ないます。
“ＲＺレンズ”としてお届けしています。
研磨
研磨剤を使ってレンズの表面をさらに精巧に研磨していきます。研磨と
鏡 面チェックを繰り返しながらレンズの両 面を仕上げ ていきます。
この工程が最も重要な工程で、この工程が完了するとレンズは透明に
なります。レンズ研磨において重要なポイントは、研磨剤はもちろんの
こと、研磨時に使用する水の温度管理が重要です。最適な温度に管理
された 水を使 用しなければ、 計内 容通りの面 精度は実 現できま
設
せん。面精度のチェックには干渉計を使用しています。
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翻訳キーワード集
