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高クロムステンレス鋼 High chrome stainless steel
光源 Light source
こ︱ 公差 Tolerance
こ 工作精度 Machining accuracy
光軸 Beam axis
光軸調整 Alignment of beam axis
光軸ピッチ Beam axis interval
高周波 High frequency
工順表 List of processes
工場見学 Factory visit
高靱性材料 Toughened material
工数 Working hours
高精細モード Fine mode
校正 Calibration
校正値 Proofreading value
高精度 High-accuracy
構成刃先 Built-up edge
構成マスター Component master
剛性率 Modulus of rigidity/Shear modulus
構造 Structure
高速 High-speed
高速カウンタ High-speed counter
高速サンプリング率 High-speed sampling rate
高速度工具鋼 Rapid tool steel/High-speed steel
剛体 Rigid body
交代制 Shifting system
高弾性 High elasticity
行程 Stroke
工程 Procedure
工程管理 Process control
M e a s u r i n g G u i d e b o o k
測 定 ポ イ ント 2 測定方式
変 位 計のなかで最も高 精 度な測 定ができる共 焦 点 測 定 方 式
の変 位 計を使 用します 。
メッ
リト
焦点距離を測定しますので、 対象物の材質 色 傾きの影響を受けず正確
・・ 焦点距離
な測定ができます。また、透明体の境界位置など も測定可能。
【測定原理】
①半導体レーザから出たレーザ光は対物レンズによって、対象物の表面に集光されます。この対物レンズは音叉により高速に上下に
移動していますので、最小スポットの距離が変化しています。共焦点方式はこの最小スポットの位置を探します。
メッ
リト
レンズ上昇 レンズ上昇
最小スポットが測定距離になるため、測定範囲のどの位置でも小スポットで コメト
リ ー レンズ
距離測定できます。
対象レンズ
②集光された光は対象物表面で反射し、来たときと同じ光路を戻っていきます。 焦点合わ 合焦点 焦点合わ
対象物 ない位置 位置 ない位置
メッ
リト 最小スポ ト
ッ
共焦点測定方式は同軸の光路で測定するため、周囲の障害物に影響され
にくい測定方式です。
ピンホール
③戻ってきた光はハーフミラーによって直角に曲げられ、
ピンホール面上に
再び集光されます。
ハーフ ラー
ミ 受光素子
④対象物上で最小スポットになった光はピンホールを抜け、受光素子に達す
受光量
音叉
ることで、対象物が焦点距離にあることが検出できます。
焦点距離（最小スポッ にある対象物の距離を測定するため共焦点測定
ト） 焦点距離
方式と言われます。
これら２つの測定ポイントを兼ね備えることで薄膜測定が可能になります。
極小スポットにより薄膜の表裏で受光ピークが得られ、
共 焦 点 方 式でその位 置が高 精度に測 定できます 。
LT-9500Vseries
ＬＴ９ ０ Ｖシリーズは世 界 初のブルーレーザを採
５０
ブルーレーザフォーカス変位計
用した共 焦 点 測 定 方 式の変 位 計です 。
■ 高 分 解 能０．１
０ μｍ コン トローラ
測定部 LT-9500V
LT-9510VM
■ 極 小スポッ φ ９
ト ０．μｍ
液晶カラーモニタ CA-MN80
コンソール
高精度測定のための校正方法
透 明 体の厚みを測 定すると、 折率の影 響で実 際の厚みよ も小さな値が出力
屈 り
されます 。この場合 、 T 9 5 0 0 Vでは校 正 機 能を使って簡 単に補 正ができます 。
L‐
〈補正方法〉
（1）右の校正設定画面で、1点目の測定値と校正値にそれぞれ「0」
設定 PRGO
を設定します。
変位モード
+63.54 OUT1
1点目
（2）同じ物質で厚みの分かっているものを測定し、 レーザ光 変位
（1） 測定値 校正値
空気中
現在の測定値を２点目の測定値に入力します。 +0000.00 → +0.00
透明体表面
レーザ光は透明体内部に 公差
入射すると屈折して、 裏面 2点目 出力
透明体
（3）
２点目の校正値に実際の厚みを入力 で焦点を結びます。 校正値 校正
測定値
（2）
+63.54 → +100.00
センサ側では、点線の面で
します。
焦点を結んだものと錯覚し （3）
透明体裏面 実行 リッ
セト
て出力するため、実際より
小さい値にな ます。
り
翻訳キーワード集
