1
日本語 英 語 中国語
ＡＢＳ樹脂 ABS resin
ＡＦＭ Atomic force microscope
Ａ●︱ X線 X-ray
あ● アーク溶接 Arc welding
アース Ground
亜鉛ダイキャスト Zinc die-cast
空き容量 Free space
アクセス権 Access authority
アクリル Acrylic
アスペクト比 Aspect ratio
あそび Clearance
値 Value
アダプタ Adapter
あたり Contact
圧延 Rolling
圧痕 Indentation
圧縮 Compress
圧縮成形 Compression molding
圧縮率 Compression ratio
圧接 Pressure welding
アップロード Upload
後入先出法 Last in, first out method/Lifo method
後処理 Post-processing
アドレス Address
厚み Thickness
圧力ポート Pressure port
穴あけ Holing
アナログ Analog
アナログ信号 Analog signal
アニーリング Annealing
H ardware Connection Software
TOUCH PANEL DISPLAY
SERIES
デ スによ
バイ る機能制御 STANDARD
「デバイスによる機 能 制 御 」 品を配 置 するとP L Cデバイスを
部
ON OFF）
（ するだけでVT3を制御できます。
VT STUDIOがあれば安心
互換性 GRADE UP
VT STUDIOでは、VT、VT2シリーズの画面資産流用に加え、
VT2シリーズ用の画面データの編集 転送も可能です。
・
過去資産を一発変換
VT2用の画面データもVT STUDIOで作成可能
VT STUDIO動作環境
項 目 VT STUDIO リモートCOMポー ツール
ト
対応OS Windows 98SE、Windows Me、Windows 2000、Windows XP
Pentium 400MHz以上
Pentium lll 800MHz以上
CPU
（Pentium 600MHz以上推奨）
メモリ 256Mバイト以上 128Mバイト以上
ハードディスク空き容量 550Mバイト以上 10Mバイト以上
800×600 ッ
ド ト以上 1024×768 ッド ト以上
ディスプレイ
High Color 16ビ ト）
（ ッ 以上 High Color 16ビ ト）
（ ッ 以上
USBポー RS-232Cポー イーサネ トポー
ト、 ト、 ッ ト
インターフェース
・Windows 98SE、 Windows Me、Windows 2000、Windows XPは米国Microsoft社の登録商標です。
・Pentiumはintel社の登録商標です。
www.k eyence. p /seigy 19
co.j o
■ KSシリーズ仕様
KSシリーズ仕様
型式 KS-1100
移動量 100ｍｍ
（X/Y）
ステージ面サイズ 180ｍｍ×180mm
制御 フルクローズドループ
ガイド方式 クロスローラ
駆動方式 リニアモータ
X/Yステージ 最大駆動速度 150mm/sec
最小移動分解能 0.1μm
繰り返し位置決め精度 ±0.5μm
4μm※1
位置決め精度
ロストモーシ ン
ョ 1μm
2μm/2μm※2
真直度（垂直/水平）
θステージ 移動範囲 360°
可動範囲 100mm
Zステージ 耐荷重 1.5 ｇ
ｋｆ（14.7N）
スケール分解能 1μm
チャンネル数 最大2ch
方式 シングルエンド方式
アナログ入力
測定確度 0.1% of F.S.
定格電圧 ±10V
RS232C インターフェース 測定データ取得（ボー ト 115200bps）
レー
制御入力 リモート端子 無電圧接点入力
USB インターフェース USB Revision 2.0 フルスピー （USB1.1互換）
ド 準拠
データ容量 10Mデータ
（40Mbyte）
電源電圧 AC100∼120±10％ 50/60Hz
定格 最大消費電力 200VA
使用周囲温度 5∼40℃
耐環境性
使用周囲湿度 35∼85%RH(結露なきこと)
質量 約20kg
※1 移動量10mmの範囲においての値。 ※2 移動量30mmの範囲においての値。
システム仕様
Windows XP Professional
対応OS Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリ ンス
イ トールされているモデルであること。
CPU CPU Pentium4
（または同等以上の性能を持つCPU ）1.7GHz以上
メモリ 1ＧＢ搭載しているこ （2Ｇ
と。 Ｂ以上を推奨）
ビデオカード VRAM 128MB以上
1280×1024 Ｘ Ａ）
（Ｓ Ｇ 以上
ディスプレイ解像度
表示色True Color 32bit）
（
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量70ＭＢ以上（測定データ含まず）
ハードディスク容量
実行時、 Ｄ
Ｈ Ｄ空き容量が500ＭＢ以上
■ システム図
LT-9010M KS-1100
アナログ電圧
形状測定ソフ ト
KS-H1M（本体付属）
（KS-Measure）
RS-232C
形状解析ソフ ト
KS-H1A
（KS-Analyzer）
RS-232C通信コード
CA-MN80 LT-9500
（本体付属）
USB
（ケーブル長さ2.5m）
PC USBケーブル（本体付属）
（ケーブル長さ3m）
13
■ KSシリーズ仕様
KSシリーズ仕様
型式 KS-1100
移動量 100ｍｍ
（X/Y）
ステージ面サイズ 180ｍｍ×180mm
制御 フルクローズドループ
ガイド方式 クロスローラ
駆動方式 リニアモータ
X/Yステージ 最大駆動速度 150mm/sec
最小移動分解能 0.1μm
繰り返し位置決め精度 ±0.5μm
4μm※1
位置決め精度
ロストモーシ ン
ョ 1μm
2μm/2μm※2
真直度（垂直/水平）
θステージ 移動範囲 360°
可動範囲 100mm
Zステージ 耐荷重 1.5 ｇ
ｋｆ（14.7N）
スケール分解能 1μm
チャンネル数 最大2ch
方式 シングルエンド方式
アナログ入力
測定確度 0.1% of F.S.
定格電圧 ±10V
RS232C インターフェース 測定データ取得（ボー ト 115200bps）
レー
制御入力 リモート端子 無電圧接点入力
USB インターフェース USB Revision 2.0 フルスピー （USB1.1互換）
ド 準拠
データ容量 10Mデータ
（40Mbyte）
電源電圧 AC100∼120±10％ 50/60Hz
定格 最大消費電力 200VA
使用周囲温度 5∼40℃
耐環境性
使用周囲湿度 35∼85%RH(結露なきこと)
質量 約20kg
※1 移動量10mmの範囲においての値。 ※2 移動量30mmの範囲においての値。
システム仕様
Windows XP Professional
対応OS Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリ ンス
イ トールされているモデルであること。
CPU CPU Pentium4
（または同等以上の性能を持つCPU ）1.7GHz以上
メモリ 1ＧＢ搭載しているこ （2Ｇ
と。 Ｂ以上を推奨）
ビデオカード VRAM 128MB以上
1280×1024 Ｘ Ａ）
（Ｓ Ｇ 以上
ディスプレイ解像度
表示色True Color 32bit）
（
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量70ＭＢ以上（測定データ含まず）
ハードディスク容量
実行時、 Ｄ
Ｈ Ｄ空き容量が500ＭＢ以上
■ システム図
LT-9010M KS-1100
アナログ電圧
形状測定ソフ ト
KS-H1M（本体付属）
（KS-Measure）
RS-232C
形状解析ソフ ト
KS-H1A
（KS-Analyzer）
RS-232C通信コード
CA-MN80 LT-9500
（本体付属）
USB
（ケーブル長さ2.5m）
PC USBケーブル（本体付属）
（ケーブル長さ3m）
13
高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクロースドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
■ 外形寸法図
コンソール
本体
型式 KS-1100
R2 23
KS-1100
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
12
3
44
制御 フルクローズ ドループ
ガイド方式 クロスローラ
18
駆動方式 リニアモータ P.C.D100
12
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec φ170
最小移動分解能 ０１
. μm 4-M4深さ5 103
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
6.5
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
φ4.5
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６ φ11
コード長 3m
可動範囲 １０
０㎜
（163.5）
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
280
（X軸可動範囲）
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
15
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
280
（Y軸可動範囲）
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性 （481）
100
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と) （50） （Z軸可動範囲）
（50） （50） （50）
質量 約０
２ kg
382
5
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
システム仕様
82
Windows XP Professional
（182.5）
対応OS Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
77
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
（100）
78.5 298
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上 260 15
393.5 7.5
300
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
ハードディ ク容量
ス
実行時、 Ｄ
Ｈ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
8 www.keyence.co.jp/henni
高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクローズドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
システム仕様
Windows XP Professional
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Home Edition
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
制御 フルクローズ ドループ
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
ガイド方式 クロスローラ
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上
駆動方式 リニアモータ
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
最小移動分解能 ０１
. μm
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
ハードディ ク容量
ス
実行時、 ＤＨ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６
可動範囲 １０
０㎜
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と)
質量 約０２ kg
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
16 www.keyence.co.jp/henni
高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクローズドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
システム仕様
Windows XP Professional
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Home Edition
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
制御 フルクローズ ドループ
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
ガイド方式 クロスローラ
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上
駆動方式 リニアモータ
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
最小移動分解能 ０１
. μm
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
ハードディ ク容量
ス
実行時、 ＤＨ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６
可動範囲 １０
０㎜
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と)
質量 約０２ kg
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
16 www.keyence.co.jp/henni
高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクローズドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
システム仕様
Windows XP Professional
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Home Edition
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
制御 フルクローズ ドループ
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
ガイド方式 クロスローラ
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上
駆動方式 リニアモータ
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
最小移動分解能 ０１
. μm
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
ハードディ ク容量
ス
実行時、 ＤＨ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６
可動範囲 １０
０㎜
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と)
質量 約０２ kg
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
16 www.keyence.co.jp/henni
仕 様
■ ヘッ （LJ-G015K、
ド LJ-G015、LJ-G030、LJ-G080、LJ-G200）
LJ-G015K LJ-G015
正反射 拡散反射
設置
15mm
±2.3mm ±2.6mm
6.5mm
7.0mm
7.5mm
約32μm×12mm
0.2μm
2.5μm
な
約260g
■ コントローラ
※1
2
（結露なきこと）
※ 1 LJ-G015またはLJ-G015Kを接続した場合。それ以外のヘッドを接続した場合は、1μmが最小表示単位となります。
2
■ ヘッド−コントローラ間コード
■ＬＪ-Ｈ1Ｗ Ｊ-Ｎ ｖｇ ｔ ｒ 使用システム環境
（Ｌ ａ ｉ ａｏ ）
必要な環境
型式 項目
LJ-GC2 LJ-GC5 LJ-GC10 LJ-GC20 LJ-GC30
2m 5m 10m 20m 30m
コード長 CPU Pentium Ⅲ 400MHz 以上
約200g 約400g 約750g 約1400g 約2000g
質量 対応OS Windows98SE/2000/XP
メモリ容量 128MB以上
ディスプレイ解像度 XGA（1024×768ピクセル） 以上、 256色 以上
ハードディスク空き容量 30MB以上
下記のいずれかを搭載しているこ と
ェース※1
インターフ
USB2.0/1.1※2、Ethernet※3、RS-232C リアルポー
（シ ト）
・WindowsはMicrosoft社の登録商標です。
・PentiumはIntel社の登録商標です。
※1 いずれかを選択して通信します。 同時に通信することはできません。
※2 ハブ経由での接続は、 保証対象外となります。
※3 LANへの接続およびルーター経由での接続は保証対象外となり ます。
28
仕 様
■ ヘッ （LJ-G015K、
ド LJ-G015、LJ-G030、LJ-G080、LJ-G200）
LJ-G015K LJ-G015
正反射 拡散反射
設置
15mm
±2.3mm ±2.6mm
6.5mm
7.0mm
7.5mm
約32μm×12mm
0.2μm
2.5μm
な
約260g
■ コントローラ
※1
2
（結露なきこと）
※ 1 LJ-G015またはLJ-G015Kを接続した場合。それ以外のヘッドを接続した場合は、μmが最小表示単位となり
1 ます。
2
■ ヘッド−コントローラ間コード
■ＬＪ-Ｈ1Ｗ Ｊ-Ｎ ｖｇ ｔ ｒ 使用システム環境
（Ｌ ａ ｉ ａｏ ）
必要な環境
型式 LJ-GC2 LJ-GC5 LJ-GC10 LJ-GC20 LJ-GC30 項目
2m 5m 10m 20m 30m
コード長 CPU Pentium Ⅲ 400MHz 以上
約200g 約400g 約750g 約1400g 約2000g
質量 対応OS Windows98SE/2000/XP
メモリ容量 128MB以上
ディスプレイ解像度 XGA（1024×768ピクセル） 以上、 256色 以上
ハードディスク空き容量 30MB以上
下記のいずれかを搭載しているこ と
ェース※1
インターフ
USB2.0/1.1※2、Ethernet※3、RS-232C リアルポー
（シ ト）
・WindowsはMicrosoft社の登録商標です。
・PentiumはIntel社の登録商標です。
※1 いずれかを選択して通信します。 同時に通信することはできません。
※2 ハブ経由での接続は、 保証対象外となります。
※3 LANへの接続およびルーター経由での接続は保証対象外となり ます。
28
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