ＳＥＭを使いこなそう！
Ⅳ-ⅱ. 非点収差の調整手順
非点調整手順
2つの非点調整
非点収差の有無は、フォー
非点調整には、観察画面の
フォーカス調整
カスをずらすことで、試料の
水平垂直方向の成分を調整
構造が均等にボケるか、特
する「Ｘ」と斜め方向の成分を
定の方向に流れたような像
調整する「Ｙ」の2つがあり、そ 非点Ｘ調整
になるかを確認します。
れぞれを個別に調整します。
非点収差は1回では調整し
非点Ｘ調整
非点Ｙ調整
きれないことが多く、この手
電子ビームの
順を数回繰り返します。
水平垂直成分を
調整
非点あり
非点収差有無を
非点Ｙ調整
確認
電子ビームの
斜め成分を
非点収差や調整手順を紹介した
調整
ムービーを収録しています。
非点なし
非点調整完了
3Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡 ＶＥシリーズには、自動非点メモリ機能が搭載されており
非点調整が必要となる頻度を抑えることで、誰にでも簡単なＳＥＭ観察を実現しています。
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
ＳＥＭを使いこなそう！
Ⅳ. 非点収差調整をマスターしよう
ＳＥＭには、光学顕微鏡にはない「非点収差（スティグマ）」という調整があります。
非点収差調整は、電子ビームの断面形状を真円にする調整です。電子ビームを
真円に調整することでスポット径は小さくなり、より微細な構造まで観察できます。
非点収差調整前 非点収差調整後
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
印字位置が簡単に微調整できる
運転画面から簡単に印字位置の微調整が行なえます。わずらわしい
画面の移動無く実寸値入力できるため、どなたでも簡単かつスピー
ディーな作業が可能です。
ABCDE
5mm
ABCDE
右に5mm移動と入力
文字サイズが簡単に微調整できる
ボタン操作で文字サイズの微調整が簡単に行なえます。従来はヘッド
の高さを調整したりコンベア速度を調整していた面倒な作業をタッチ
パネルから思い通りに調整できます。
7
06 数値をきれいに並べたい！
表と数値の位置あわせが大変…
ただし
・
・・ 表を見やすくしたいが加工に時間がかかる…
使えるVT3機能紹介
表作成機能 登 録すれば調整簡単
表作成機能を使用すると、表部分と数値などの登録部品を一括で管理 調整できます。
・従来、別々に調整するために必要であった工数をかけずに、
きれいな表作成が可能です。
【部品（P） （Ａ）
】 【表 】
数値表示などをマウス操作で登録
短 時間できれいな表を作成するための機能紹介
幅 高さ自動調整
・● セルの幅を調整
数値と表のバランスを自動調整
セル内で数値を一括で整列
● セル内整列
配置の調整は、1ステ プ
ッ
数値をきれいに並べたい！
表と数値の位置あわせが大変…
ただし
・
・・ 表を見やすくしたいが加工に時間がかかる…
使えるVT3機能紹介
表作成機能 登 録すれば調整簡単
表作成機能を使用すると、表部分と数値などの登録部品を一括で管理 調整できます。
・従来、別々に調整するために必要であった工数をかけずに、
きれいな表作成が可能です。
【部品（P） （Ａ）
】 【表 】
数値表示などをマウス操作で登録
短 時間できれいな表を作成するための機能紹介
幅 高さ自動調整
・● セルの幅を調整
数値と表のバランスを自動調整
セル内で数値を一括で整列
● セル内整列
配置の調整は、1ステ プ
ッ
数値をきれいに並べたい！
表と数値の位置あわせが大変…
ただし
・
・・ 表を見やすくしたいが加工に時間がかかる…
使えるVT3機能紹介
表作成機能 登 録すれば調整簡単
表作成機能を使用すると、表部分と数値などの登録部品を一括で管理 調整できます。
・従来、別々に調整するために必要であった工数をかけずに、
きれいな表作成が可能です。
【部品（P） （Ａ）
】 【表 】
数値表示などをマウス操作で登録
短 時間できれいな表を作成するための機能紹介
幅 高さ自動調整
・● セルの幅を調整
数値と表のバランスを自動調整
セル内で数値を一括で整列
● セル内整列
配置の調整は、1ステ プ
ッ
06 数値をきれいに並べたい！
表と数値の位置あわせが大変…
ただし
・
・・ 表を見やすくしたいが加工に時間がかかる…
使えるVT3機能紹介
表作成機能 登 録すれば調整簡単
表作成機能を使用すると、表部分と数値などの登録部品を一括で管理 調整できます。
・従来、別々に調整するために必要であった工数をかけずに、
きれいな表作成が可能です。
【部品（P） （Ａ）
】 【表 】
数値表示などをマウス操作で登録
短 時間できれいな表を作成するための機能紹介
幅 高さ自動調整
・● セルの幅を調整
数値と表のバランスを自動調整
セル内で数値を一括で整列
● セル内整列
配置の調整は、1ステ プ
ッ
06 数値をきれいに並べたい！
表と数値の位置あわせが大変…
ただし
・
・・ 表を見やすくしたいが加工に時間がかかる…
使えるVT3機能紹介
表作成機能 登 録すれば調整簡単
表作成機能を使用すると、表部分と数値などの登録部品を一括で管理 調整できます。
・ 従来、別々に調整するために必要であった工数をかけずに、
きれいな表作成が可能です。
【部品（P） （Ａ）
】 【表 】
数値表示などをマウス操作で登録
短時間できれいな表を作成するための機能紹介
幅 高さ自動調整
・
● セルの幅を調整
数値と表のバランスを自動調整
セル内で数値を一括で整列
● セル内整列
配置の調整は、1ステ プ
ッ
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＜STEP 4の続き＞
② 区間ごとの速度を指定
区間の始点・終点での速度や加減速時間、目標速度を設定します。
③ インポートして微細制御データを作成
インポートに成功すると、
DXFファイルを元にした
微細制御データが作成されます。
座標・速度の調整
STEP 5
インポート完了後、微細データの座標・速度の調整をおこないます。
座標の変更に合わせて、 座標の調整
軌跡図が変化します。 上の軌跡図を見ながら、座標を調整します。
速度の調整
速度変更ウィンドウから、開始・終了点の速度、
加減速時間、目標速度を調整します。
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② 区間ごとの速度を指定。 ＜STEP 4の続き＞
区間の始点・終点での速度や加減速時間、目標速度を設定します。
③ インポートして微細制御データを作成。
インポートに成功すると、DXFファイルを元にした微細制御データが作成されます。
座標・速度の調整
STEP 5
インポート完了後、微細データの座標・速度の調整を行います。
座標の変更に合わせて、 座標の調整
軌跡図が変化します。
上の軌跡図を見ながら、座標を調整します。
速度の調整
速度変更ウィンドウから、開始・終了点の速度、
加減速時間、目標速度を調整します。
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翻訳キーワード集
