ＳＥＭを使いこなそう！
Ⅲ. 観察距離を変えてみよう
ＳＥＭでは、「観察距離」を自由に変えて観察できます。
観察距離は対物レンズ（≒ＳＥＭの試料室天井）と試料の距離です。
「観察距離」を変えると、ＳＥＭの特性が大きく変わります。
観察距離：短 観察距離：長
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
光電センサの用語説明
■ / Glossary on photoelectric sensors /
用語 解説図 定義
/ Term / / Configuration / / Definition /
The maximum distance
安定に動作できる投・
透過型
検出距離
from the transmitter to
受光器間の最大距離を
Detecting distance Thrubeam type the receiver that permits
示します。
the receiver to stably
receive a light beam
投光器 受光器
emitted from the
Transmitter Receiver
transmitter.
検出距離
Detecting distance
安定に動作できる最大 The maximum
回帰反射型
距離で、光電スイッチ distance from the
Retro-reflective type
と反射板との距離を示 transmitter to the
します。 receiver that permits
反射板
the receiver to stably
Reflector
receive a light beam
reflected from the
reflector.
検出距離
Detecting distance
The maximum
反射型（拡散、限定、狭視界、 標準検出物体で安定に
distance from the
動作する最大距離を示
距離設定） sensor head to a
します。
Reflective types (diffuse, small-spot standard target that
definite, focused-beam, narrow-beam, permits the sensor
distance-specific) head to stably detect a
light beam reflected
from the standard
target.
標準検出体
Standard target
検出距離
Detecting distance
For a reflective type
● 反射型における、動
●
●
応差距離 photoelectric sensor,
作距離と復帰距離の
the difference
差の絶対値。
Hysteresis
between the reset
復帰距離 光電センサでは、検
● distance and the
Reset distance 出距離に対する比率
● detecting distance
で表わします。(検出
using a standard
距離のX%)
動作距離 target.
Detecting distance 復帰距離はセンサヘッ
● Hysteresis of
● ドの受光表面からセ
● photoelectric sensor
ンサが次の検出を行
is represented as a
うために復帰する地
ratio to the detecting
点までの距離。
distance (X% of
detecting distance).
応差距離
Hysteresis
The reset distance
●
refers to the distance
OFF
ON
from the light-
OFF
ON
receiving surface of a
sensor head to the
point at which sensor
resets for
subsequent
detection.
8
デジタル放射温度センサ
NEW
FTシリーズ
放射温度センサラ ンナ プ
イッ
中低温 小スポッ
・ ト
FT-H10 中低温 中距離
・ FT-H20 中低温 長距離
・ FT-H30 中低温 超長距離
・ 高温 超長距離
・ FT-H50 NEW
高温 中距離
・ FT-H50K NEW
FT-H40K NEW
高温タ プ 新登場
イ
デジタル放射温度センサ
NEW
FTシリーズ
放射温度センサラ ンナ プ
イッ
中低温 小スポッ
・ ト
FT-H10 中低温 中距離
・ FT-H20 中低温 長距離
・ FT-H30 中低温 超長距離
・ 高温 超長距離
・ FT-H50 NEW
高温 中距離
・ FT-H50K NEW
FT-H40K NEW
高温タ プ 新登場
イ
デジタル放射温度センサ
NEW
FTシリーズ
放射温度センサラ ンナ プ
イッ
中低温 小スポッ
・ ト
FT-H10 中低温 中距離
・ FT-H20 中低温 長距離
・ FT-H30 中低温 超長距離
・ 高温 超長距離
・ FT-H50 NEW
高温 中距離
・ FT-H50K NEW
FT-H40K NEW
高温タ プ 新登場
イ
ＳＥＭを使いこなそう！
Ⅲ-ⅰ. 観察距離とスポット径
ＳＥＭでは、対物レンズの収束条件を変更して観察距離（焦点距離）を調整しています。
「加速電圧とスポット径」の頁でご紹介しましたが、スポット径は焦点距離に影響されます。
対物レンズの焦点距離調整では、短くしても電子ビームが絞りに遮られることはありません。
観察距離：長 観察距離：短
対物レンズ部拡大図
電子
ビーム
ＳＥＭ
鏡筒部
電子ビーム 電子ビーム
焦点距離
ｄ
対物レンズ
観察距離
試料室 ≒
焦点距離
焦点距離が長いためスポット径が大きくなる。 焦点距離が短いためスポット径が小さくなる。
試料
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
各機種特長 ― 全ての機種に と ット型」
「角型」「ナ を用意
角型 ナット型
透過型 ― 長距離ハイパワー、
― 簡単光軸合わせ
標準 PZ-G51 ハイパワー PZ-G52
長距離検出
長距離検出
40m
20m 検出距離
検出距離
高輝度 ハイパワー
赤色4元素LED搭載 赤外ダブルLED搭載 簡単光軸調整
簡単光軸調整
前面入光表示灯
前面入光表示灯
光軸が合えば光るので
光軸が合えば光るので
光軸合わせが簡単に
光軸合わせが簡単に
行なえます。
行なえます。
反射型 ― く りスポッ
― っき トで簡単光軸合わせ
拡散反射型 PZ-G41
（長距離） 狭視界反射型 PZ-G101 限定反射型 PZ-G102
近日発売 近日発売
PZ-G42
（近距離）
近距離タ プ
イ
検出距離
300mm
高輝度
検出距離 検出距離
赤色4元素
200mm 5∼45mm
LED搭載
高輝度
高輝度
赤色4元素
赤色4元素LED搭載
LED搭載
検出距離40mmで
検出距離100mmで
スポ ト径
ッ
長距離タ プ
イ
φ5mm
スポ ト径 約
ッ
1m φ2mm
検出距離 約
回帰反射型 ― ハイパワー長距離検出
―
標準（P.R.O.機能内蔵）PZ-G61 透明体検出用（P.R.O.機能なし）PZ-G62 近日発売
0.1∼1m
検 出距離
（R-2L使用時）
長距離検出
検 出距離
0.1∼4.2m シングル赤外
LED搭載
（R-2L使用時）
P.R.O.機能内蔵
鏡面からの直接反射光を
DEX回路内蔵
キャンセルするP.R.O. ※
機能を内蔵。 P.R.O.機能 透明体での光量の微妙な減衰を大き く
高輝度
により金属ワークの検出も 増幅するDEX ※ 回路によ 透明体を
り、
赤色4元素
安定します。 検出しやす しています。
く
LED搭載
※Polarized Reflection Optics ※Difference Expansion
（偏光回帰）
5
各機種特長 ― 全ての機種に と ット型」
「角型」「ナ を用意
角型 ナット型
透過型 ― 長距離ハイパワー、
― 簡単光軸合わせ
標準 PZ-G51 ハイパワー PZ-G52
長距離検出
長距離検出
40m
20m 検出距離
検出距離
高輝度 ハイパワー
赤色4元素LED搭載 赤外ダブルLED搭載 簡単光軸調整
簡単光軸調整
前面入光表示灯
前面入光表示灯
光軸が合えば光るので
光軸が合えば光るので
光軸合わせが簡単に
光軸合わせが簡単に
行なえます。
行なえます。
反射型 ― く りスポッ
― っき トで簡単光軸合わせ
拡散反射型 PZ-G41
（長距離） 狭視界反射型 PZ-G101 限定反射型 PZ-G102
PZ-G42
（近距離）
近距離タ プ
イ
検出距離
300mm
高輝度
検出距離 検出距離
赤色4元素
200mm 5∼45mm
LED搭載
高輝度
高輝度
赤色4元素
赤色4元素LED搭載
LED搭載
検出距離40mmで
検出距離100mmで
スポ ト径
ッ
長距離タ プ
イ
φ5mm
スポ ト径 約
ッ
1m φ2mm
検出距離 約
回帰反射型 ― ハイパワー長距離検出
―
標準（P.R.O.機能内蔵）PZ-G61 透明体検出用（P.R.O.機能なし）PZ-G62
0.1∼1m
検 出距離
（R-2L使用時）
長距離検出
検 出距離
0.1∼4.2m シングル赤外
LED搭載
（R-2L使用時）
P.R.O.機能内蔵
鏡面からの直接反射光を
DEX回路内蔵
キャンセルするP.R.O. ※
機能を内蔵。 P.R.O.機能 透明体での光量の微妙な減衰を大き く
高輝度
により金属ワークの検出も 増幅するDEX ※ 回路によ 透明体を
り、
赤色4元素
安定します。 検出しやす しています。
く
LED搭載
※Polarized Reflection Optics ※Difference Expansion
（偏光回帰）
5
各機種特長 ― 全ての機種に と ット型」
「角型」「ナ を用意
角型 ナット型
透過型 ― 長距離ハイパワー、
― 簡単光軸合わせ
標準 PZ-G51 ハイパワー PZ-G52
長距離検出
長距離検出
40m
20m 検出距離
検出距離
ハイパワー
高輝度
赤外ダブルLED搭載
赤色4元素LED搭載
簡単光軸調整
簡単光軸調整
前面入光表示灯
前面入光表示灯
光軸が合えば光るので
光軸が合えば光るので
光軸合わせが簡単に
光軸合わせが簡単に
行なえます。
行なえます。
反射型 ― く りスポッ
― っき トで簡単光軸合わせ
拡散反射型 PZ-G41
（長距離）PZ-G42
（近距離） 狭視界反射型 PZ-G101
近距離タ プ
イ
300mm
検出距離
検出距離
200mm
高輝度
赤色4元素
高輝度
長距離タ プ
イ
LED搭載 検出距離100mmで
1m 赤色4元素LED搭載
φ5mm
検出距離 スポ ト径 約
ッ
限定反射型 PZ-G102 カラーマーク検出
PZ-G10R
（赤色）PZ-G10G
（緑色）PZ-G10B
（青色）
高輝度
5∼45mm
赤色4元素 検出距離
LED搭載
検出距離40mmで
検 出距離
φ2mm
スポ ト径 約
ッ
8∼15mm
検出距離10mmで
1.5×4mm
スポ ト径 約
ッ
回帰反射型 ― ハイパワー長距離検出
―
標準（P.R.O.機能内蔵）PZ-G61 透明体検出用（P.R.O.機能なし）PZ-G62
検 出距離
長距離検出
0.1∼1m
シングル赤外
検 出距離
LED搭載
0.1∼4.2m （R-2L使用時）
（R-2L使用時）
P.R.O.機能内蔵
DEX回路内蔵
鏡面からの直接反射光をキャン
セルするP.R.O. ※ 機能を内蔵。 透明体での光量の微妙な減衰を
高輝度 P.R.O.機能により金属ワークの く増幅するDEX※回路によ 、
大き り
赤色4元素 検出も安定し ます。 透明体を検出しやす しています。
く
LED搭載 ※Polarized Reflection Optics 偏光回帰）
（ ※Difference Expansion
5
Step1 Step2 Step3
FTシリーズの選び方 温度と距離から 取付方法から 必要な
センサヘッドを選ぶ アンプを選ぶ オプシ ンを選ぶ
ョ
Step1 温度と距離からセンサヘッドを選ぶ
1 温度で選ぶ
高温タ プ 0∼1350℃ 中低温タ プ 0∼500℃
イ イ
FT-H50K FT-H40K
・ FT-H50 FT-H30 FT-H20 FT-H10
・
・
・
2 距離で選ぶ
FT-H10 FT-H20 FT-H30
10.5 レーザポインタ間距離(代表例) レーザポインタ間距離(代表例)
レーザポインタ間距離(代表例)
21 10.5 0 24.5 13 8 17 25.5 17 22 35.5
φ8 視野径 (mm) 視野径 (mm)
φ11 φ6.3 φ1.5 視野径 (mm)
φ11 φ8.5 φ6 φ14.5 φ11 φ15 φ18 φ33
ンタ
ンタ
測定領域
レーザポイ
レーザポイ
対象物
検出距離 (mm)
0 17.5 35 52.5 検出距離 (mm)
0 60 120 180 検出距離 (mm)
0 200 400 600
視野径
ポインタ
間距離
FT-H20/30 のレーザポインタは、上図に示すよ に、
う 距離を離してい と表示さ レーザの位置が右回り
く れる に回転しているよ に見え
う ます。
FT-H40K FT-H50/FT-H50K
レーザポインタ間距離(代表例) レーザポインタ間距離(代表例)
26 26 26 26 26 26 26 26 26 26 26
視野径 (mm) 視野径 (mm)
φ11 φ7.5 φ6 φ4 φ11.5 φ11 φ18 φ25 φ30 φ45 φ75
検出距離 (mm) 検出距離 (mm)
0 100 150 200 300 0 500 1000 1500 2000 3000
センサヘッド
型式 形状 種類 検出温度 測定距離／視野径（代表例） 価格（￥）
FT-H10 小スポ ト
ッ 17.5／φ6.3mm 35／φ1.5mm 52.5／φ8mm 44,900
FT-H20 中距離 60／φ8.5mm 120／φ6mm 180／φ14.5mm 44,900
中 低温
・ 0∼500℃
FT-H30 長距離 200／φ15mm 400／φ18mm 600／φ33mm 39,900
FT-H50 超長距離 500／φ18mm 1500／φ30mm 3000／φ75mm 49,900
FT-H40K 中距離 100／φ7.5mm 150／φ6mm 300／φ11.5mm 99,900
高温 0∼1350℃
FT-H50K 超長距離 500／φ18mm 1500／φ30mm 3000／φ75mm 99,900
8
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